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お知らせ

「第1回[九州]半導体産業展」出展報告
難加工材用切削工具被膜として優れた性能を発揮する水素フリーDLC被膜「TETRAスリック」の他、
ESD対策に有効な表面抵抗値を有するDLCコーティング「THORスリック / NeoスリックC」等を展示
去る2024年9月25日（水）より、マリンメッセ福岡で開催されました「第1回[九州]半導体産業展」に出展しました。
ご来場いただきましたお客様には、スタッフ一同、心より御礼申し上げます。

今回、日本コーティングセンターはトーカロ株式会社と共同出展させていただき、優れた性能を発揮する水素フリーDLC（ta-Cタイプ）被膜「TETRAスリック」や、ESD対策に有効な表面抵抗値を有するDLCコーティング「THORスリック / NeoスリックC」等の紹介を行いました。

「第1回[九州]半導体産業展」は大盛況に終わり、出展者一同、九州における半導体業界の盛り上がりを改めて実感した次第です。
展示会に出展した製品を下記にてご報告致しますので、この機会に是非ご覧ください。

製品に関するお問い合わせ・資料請求はページ下部のフォームよりお願いいたします。

出展製品紹介

水素フリーDLC（ta-Cタイプ）コーティング「TETRAスリック」
優れた性能を発揮する水素フリーDLC（ta-Cタイプ）被膜
TETRAスリックは難加工材用切削工具被膜として優れた性能を発揮する「水素フリーDLC（ta-Cタイプ）コーティング」です。
高い被膜硬さや耐摩耗性に加え、優れた被膜密着力や耐熱特性を持ち、治工具や機械部品等の長寿命化も実現します。
  • 高硬度で高い耐摩耗性
  • 精度の厳しい品物に有効な薄膜仕様
  • 優れた密着性で長寿命化
  • ta-C被膜特有の耐熱特性
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ESD対策に有効な表面抵抗値を有するDLCコーティング「THORスリック/NeoスリックC」
被膜自身の機能を活かした半導体製造分野や特殊用途へ
THORスリックは「ESD対策に有効な表面抵抗値を有するDLCコーティング」です。DLC本来が持つ耐摩耗性・低発塵性・摺動特性に＋αとして、表面抵抗値をコントロールしたコーティング商品となっておりますので、様々な機能をTHORスリックで補完・付与することが可能となります。
NeoスリックCは「高密着・高耐久な汎用DLCコーティング」です。短納期・中量産対応が可能です。
  • 低温処理で高い被膜密着性と低発塵性
  • 緩やかなESD（Electro Static Discharge：静電気）放電曲線（THORスリック）
  • 帯電によるダスト等吸着による生産性低下などの不具合対策
  • より低抵抗化によるESD対策対応の多様化（NeoスリックC）
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耐プラズマエッチング被膜「ELIPコート」【ELIP-RP/ELIP-HS】
超越した耐プラズマエッチング特性と耐熱＆電気特性
ELIP-RPはPVD法で成膜する「耐プラズマエッチング被膜」です。緻密で平滑な被膜を実現するため、半導体関連の製造装置部品のコーティングに適しています。
ELIP-HSはPVD法で成膜する「SiCコーティング」です。低温処理での成膜が可能な手法のため、対象基材の選択肢が広がり、導入のハードルが低いことが特徴です。
  • 低温処理が可能（350℃以下）
  • 絶縁物・樹脂への処理も可能
  • 酸化物・炭化物セラミックス被膜
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